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X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面（2～3nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。Kratos公司作为世界上较早生产商品化X射线光电子能谱仪的厂家之一，其产品在世界上许多的大学、科研机构和企业公司中都有应用。
测试内容: （1）提供样品表面和内部成分分析，可采用氩离子溅射处理，同时可进行剖面AES分析； （2）固体样品可提供<50oC角度侧倾扫，提供表面 2-10nm精细元素分布分析； （3）可进行微区元素分析； （4）仪器精度：0.05eV。 应用范围： 电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析，主要使用范围如下：（1）半导体大规模、超大规模集成电路的研究; （2）冶金工业：寻求各种表面处理技术，以获得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蚀性等；（3）固体化学；研究固体的表面吸附，表面反应和表面化学状态；（4）材料科学：研究材料表面的成分和结构，探索表面性能。
